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通道構(gòu)成

標準25ch（最多至150ch）

標準25ch（最多至150ch）

控制方式

5ch

25ch

5ch

25ch

5ch

25ch

系統(tǒng)

windows 7

windows 7

測量性能

偏置電壓

偏置電壓

無加載、1.0～100V DC

無加載、1.0～300V DC

無加載、1.0～500V DC

最小分辨率

0.1V
（1.0～100V，可與測量電壓分開設(shè)定）

0.1V（設(shè)定為1～200V時）
1.0V（設(shè)定為200～300V時）

0.1V（設(shè)定為1～200V時）
1.0V（設(shè)定為200～500V時）

加載電壓精度

±（設(shè)定值的0.7%+300mV）

±（設(shè)定值的0.7%+300mV）

電阻判定及測量時間

直流電流測量范圍※1

0.1fA～20mA（最高分辨率：0.1fA）

0.1fA～20mA（最高分辨率：0.1fA）※2

電阻測量范圍（Ω）

2.0×10⁵～1.0×10¹³（加載100V時）
2.0×10³～1.0×10¹¹（加載1V時）

2.0×10⁵～1.0×10¹³（加載300V時）
2.0×10³～1.0×10¹¹（加載1V時）

2.0×10⁵～1.0×10¹³（加載500V時）
2.0×10³～1.0×10¹¹（加載1V時）

測量精度※1

±1.015%（20pA量程、全量程）

±1.015%（20pA量程、全量程）

測量電壓

1.0～100V DC（0.1V/步）

1.0～300V DC
（1.0～200V：0.1V/步）
（200～300V：1.0V/步）

1.0～500V DC
（1.0～200V：0.1V/步）
（200～500V：1.0V/步）

測量時間（1次）※3

15秒+充電時間

80秒+充電時間

15秒+充電時間

80秒+充電時間

15秒+充電時間

80秒+充電時間

漏電流測出功能

不間斷，100μsec以內(nèi)測出

不間斷，100μsec以內(nèi)測出

測量電纜

種類

 +極

單芯電纜

耐熱單芯電纜

 -極

同軸電纜（防護結(jié)構(gòu)）

同軸電纜（防護結(jié)構(gòu)）

包覆材質(zhì)

特氟?。蜔?150℃）

特氟?。蜔?150℃）

長度

掃描單元至中轉(zhuǎn)連接器：2.5m
中轉(zhuǎn)連接器開始：1.5m

掃描單元至中轉(zhuǎn)連接器：2.5m
中轉(zhuǎn)連接器開始：1.5m

中轉(zhuǎn)連接器

可連接25通道
同軸連接器

可連接25通道
+極：金屬插座   -極：方型同軸連接器

測量儀表

型號：6514
（吉利時儀器公司制造）

型號：6514
（吉利時儀器公司制造）

外尺寸

W530×H1750×D940mm

W530×H1750×D940mm

電源

100V AC,1φ10.A
120V AC,1φ8.3A
220V AC,1φ4.5A
240V AC,1φ4.2A

100V AC,1φ10.A
120V AC,1φ8.3A
220V AC,1φ4.5A
240V AC,1φ4.2A

※1 顯示的是測量儀表的測量精度及直流電流測量范圍。系統(tǒng)的測量精度請參考精度分布圖。

※2 高電壓偏置用中轉(zhuǎn)連接器內(nèi)，在每個通道的正電壓加載側(cè)串連了1KΩ的電阻，電流流過試樣損失會造成的電壓稍許下降。

    此微小電壓下降沒有包含在加載電壓精度中。

※3 偏置電壓與測量電壓相同時，則充電時間為零。